
Система сверхчистой воды представляет собой оборудование для получения воды с наивысшей степенью герметичности в области водоподготовки на сегодняшний день. Благодаря совместному действию многоступенчатой очистки, обратного осмоса (RO), ионного обмена (IX), электродеионизации (EDI), ультрафильтрации (UF) и высокоэффективной дезинфекции содержание ионов, органических веществ, частиц, микроорганизмов и растворенных газов в воде снижается до предельно низких уровней, что в итоге позволяет достичь удельного электрического сопротивления сверхчистой воды 18,2 МОм·см (при 25°C).
★ Технические характеристики и модели приведены для справки. Конкретные параметры продукта определяются индивидуальной разработкой на основе фактических условий заказчика.
Система сверхчистой воды представляет собой оборудование для получения воды с наивысшей степенью герметичности в области водоподготовки на сегодняшний день. Благодаря совместному действию многоступенчатой очистки, обратного осмоса (RO), ионного обмена (IX), электродеионизации (EDI), ультрафильтрации (UF) и высокоэффективной дезинфекции содержание ионов, органических веществ, частиц, микроорганизмов и растворенных газов в воде снижается до предельно низких уровней, что в итоге позволяет достичь удельного электрического сопротивления сверхчистой воды 18,2 МОм·см (при 25°C). Система широко применяется в таких высокотехнологичных областях с чрезвычайно жесткими требованиями к качеству воды, как производство полупроводниковых чипов, плоских дисплеев, фотоэлектрических элементов, медицинских приборов, в фармацевтике, а также в научно-исследовательских лабораториях, являясь ключевой инфраструктурой для прецизионного производства и научных исследований.
Система сверхчистой воды (UPW) представляет собой технологию очистки воды самого высокого уровня на сегодняшний день. Данная система использует многоступенчатый процесс, объединяющий предварительную обработку, обратный осмос (RO), ионный обмен (IX), электродеионизацию (EDI), ультрафильтрацию (UF) и ультрафиолетовое (УФ) обеззараживание, что позволяет удалять ионы, органические вещества, частицы, микроорганизмы и растворенные газы до следовых количеств и получать сверхчистую воду с удельным электрическим сопротивлением до 18,2 МОм·см при 25°C. Система сверхчистой воды широко применяется в таких областях, как производство полупроводников, плоских дисплеев, солнечных элементов, медицинского оборудования, фармацевтика и научно-исследовательские лаборатории, являясь незаменимой инфраструктурой для прецизионного производства и научных исследований.
| Преимущества | Описание | Преимущества | Описание |
| Сверхвысокая чистота | Удельное электрическое сопротивление достигает 18,2 МОм·см, TOC < 5 ppb | Сверхвысокая степень очистки | Удельное электрическое сопротивление до 18,2 МОм·см, общее содержание органического углерода < 5 ppb |
| Многоступенчатая глубокая очистка | Совместное действие RO+EDI+UF+UV, многоступенчатый контроль на каждом этапе | Многоступенчатая очистка | Синергия RO+EDI+UF+UV |
| Отсутствие химической регенерации | Модуль EDI не требует регенерации кислотами и щелочами, экологичность | Отсутствие химической регенерации | EDI исключает регенерацию кислотами/щелочами. |
| Мониторинг качества воды в реальном времени | Онлайн-контроль удельного сопротивления, TOC, подсчета частиц на всех этапах | Контроль качества в реальном времени | Онлайн-мониторинг удельного сопротивления, общего органического углерода и количества частиц |
| Модульная архитектура | Гибкое масштабирование, возможность удовлетворения различных потребностей в производительности | Модульное построение | Масштабируемая конструкция для любой производительности |
| Материалы, соответствующие требованиям чистых помещений | Полное использование санитарной нержавеющей стали и труб с низким уровнем вымывания | Материалы для чистых зон | Санитарная нержавеющая сталь и трубы со сверхнизким уровнем экстракции |
| Параметр | Значение | Параметр | Значение |
| Удельное сопротивление продукционной воды | 18,2 МОм·см (при 25°C) | Удельное электрическое сопротивление | 18,2 МОм·см @ 25°C |
| Содержание TOC | < 5 ppb | Содержание общего органического углерода | < 5 ppb |
| Частицы (≥ 0,1 мкм) | < 1 шт./мл | Частицы (≥ 0,1 мкм) | < 1 шт./мл |
| Общее количество бактерий | < 1 КОЕ/мл | Количество бактерий | < 1 КОЕ/мл |
| Содержание кремния | < 1 ppb | Содержание диоксида кремния | < 1 ppb |
| Производительность | 0,5–500 м³/ч | Диапазон производительности | 0,5–500 м³/ч |
| Коэффициент восстановления системы | ≥75% | Рекуперация системы | ≥75% |
Полупроводниковая и микрочиповая промышленность — вода для очистки пластин, фотолитографических процессов, соответствует стандартам SEMI — Полупроводниковая и ИС-промышленность — очистка пластин и фотолитография, соответствие стандартам SEMI
Фотоэлектрическая промышленность и производство плоских дисплеев — вода для очистки солнечных элементов и панелей при производстве — Солнечная энергетика и производство плоских дисплеев — вода для очистки при производстве солнечных элементов и панелей
Фармацевтика и производство медицинских изделий — вода для инъекций, соответствующая фармакопейным стандартам USP/EP/CP — Фармацевтика и производство медицинских изделий — очищенная вода и вода для инъекций, соответствующие стандартам USP/EP/CP
Научно-исследовательские лаборатории — вода для лабораторных исследований в университетах, испытательных центрах, исследовательских центрах — Лаборатории — университеты, испытательные центры и исследовательские центры
Прецизионное производство — вода для очистки деталей и технологических процессов в аэрокосмической отрасли и производстве прецизионных приборов — Прецизионное производство — аэрокосмическая отрасль и производство прецизионных приборов: вода для очистки и технологических процессов
① Оценка потребностей — анализ качества исходной воды, требований к воде, её объёма и сценариев использования ② Проектирование — индивидуальная разработка технологической схемы, выбор оборудования и проектирование системы чистых трубопроводов ③ Сдача объекта — монтаж в чистых помещениях, пусконаладка системы и валидация качества воды (IQ/OQ/PQ) ④ Послепродажное обслуживание — регулярный контроль качества воды, замена расходных материалов, поддержка в оптимизации процессов
① Оценка — анализ качества воды, расхода и области применения ② Проектирование — индивидуальная технологическая схема, выбор оборудования и планировка трубопроводов для чистых помещений ③ Сдача — монтаж в чистых помещениях, пусконаладка и валидация качества воды (IQ/OQ/PQ) ④ Послепродажное обслуживание — регулярный контроль качества, замена расходных материалов и оптимизация процессов